真空技術(shù)中幾個(gè)重要的概念

　　一個(gè)大氣壓下，空氣的分子密度n=2.7×1019個(gè)/cm3。空氣是混合氣體，其相對(duì)分子質(zhì)量由構(gòu)成的氣體分子按比例計(jì)算。氮?dú)獾南鄬?duì)分子質(zhì)量28.016，體積比78.1%;氧氣的相對(duì)分子質(zhì)量32，體積比20.93%;氬氣的相對(duì)分子質(zhì)量39.944，體積比0.933%。相對(duì)分子質(zhì)量的平均值=(28.016×78.1+32×20.93+39.944×0.933)/(78.1+20.93+0.933)=28.96

　　由氣體分子運(yùn)動(dòng)論，壓強(qiáng)的計(jì)算式為

　　p=nkT

　　采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)單位時(shí)(壓強(qiáng)Pa，體積 m3)，玻爾茲曼常數(shù)k為1.38×10-23 J/K。

　　氣體分子的密度為

　　n=p/(kT)

　　壓強(qiáng)為1Pa，溫度為27℃時(shí)，氣體分子的密度n為

　　n=1/(1.38×10-23×(273+27))=2.4×1020個(gè)/m3

　　因此，即使真空度達(dá)到10-9 Pa的極高真空狀態(tài)，每立方米的空間內(nèi)仍有1011個(gè)氣體分子存在。

　　1、氣體分子的平均自由程

　　氣體是由大量的分子構(gòu)成的，0℃一個(gè)大氣壓的情況下，22.4L的空間里有1摩爾(6.02×1023個(gè))分子。這些分子在室溫下以500～1500m/s的速度運(yùn)動(dòng)和其他分子碰撞后，改變運(yùn)動(dòng)方向和速度，之后再和另外的分子碰撞。兩次碰撞之間的飛行距離，稱之為平均自由程。

　　平均自由程λ[m]、壓強(qiáng)p[Pa]、溫度T[K]以及分子的直徑D[m]之間的關(guān)系為

　　λ=3.11×10-24 T/pD2

　　因此，氣體分子的平均自由程與壓強(qiáng)成反比例、與溫度成正比例、與分子直徑的2次方成反比例關(guān)系。

　　溫度為25℃的空氣，壓強(qiáng)和分子平均自由程的實(shí)際數(shù)據(jù)，1Pa為7mm、10-1 Pa為175px、10-2 Pa為1750px、10-3 Pa為7m、10-4 Pa為70m。記住這些數(shù)字，對(duì)真空度的感覺(jué)能更直觀一些。

　　2、氣體分子的入射頻率

　　氣體分子在單位時(shí)間和單位面積內(nèi)碰撞固體表面的數(shù)量稱之為入射頻率。入射頻率r和壓強(qiáng)p[Pa]、氣體相對(duì)分子質(zhì)量Mr、溫度T[K]之間的關(guān)系表示為

　　r=2.6×10-24 p/(MrT)1/2[個(gè)/(m2·s)]

　　即入射頻率和壓強(qiáng)成正比例、和氣體相對(duì)分子質(zhì)量平方根及溫度的平方根成反比例關(guān)系。

　　在真空度為10-4 Pa的情況下，25℃氧分子的入射頻率是2.72×1018 個(gè)/(m2·s)。排列于固體表面的原子數(shù)大約是1019 個(gè)/m2，只要幾秒鐘的時(shí)間，表面所有的原子都會(huì)受到氧分子的碰撞。

　　如果氣體分子的平均自由程和容器的尺寸相同或更長(zhǎng)，則氣體分子和容器壁碰撞的次數(shù)要比氣體分子之間的碰撞次數(shù)要多，這種狀態(tài)被稱為分子流(圖1.3(a))。如果平均自由程比較短，氣體分子之間的碰撞次數(shù)比氣體分子和容器壁的碰撞次數(shù)多，這種狀態(tài)被稱為黏性流(圖1.3(b))。黏性流的氣體分子在管路中被排出時(shí)，中心軸的流速最大，靠近管壁的流速逐漸減小。

　　針對(duì)分子流或黏性流，獲得真空時(shí)要選擇不同類型的真空泵，這在以后真空泵一節(jié)中將會(huì)詳細(xì)介紹。